特殊ガス供給システム

半導体製造設備は、24時間365日稼働し続けるため、高い信頼性が要求されます。そのような設備へ安定的に特殊ガスを供給するシステムの設計・製作を行っています。

集中監視システム・シリンダーキャビネット、バルブボックスや付帯設備の設計・製作、ソフト制作(ラダー回路、タッチパネルソフト)をトータルでご提供します。